给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么？
活塞杆填料函的泄放管是与（）连通的，主机运行时可以从泄放管的工作状态判断填料函工作是否正常。 ["下部密封环","下部刮油环","中部刮油环","上部密封环"]
写出下列继电器所接的方向电源：（1）D1FKJ（）；D15ZJ（）（2）D13FKJ（）；D7ZJ（）
解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
组装活塞杆填料函中的刮油环和组装四冲程柴油机活塞上的刮油环时，都会有弹簧。组装时要注意前者的弹簧装在刮油环的（），后者的弹簧装在刮油环的（）。 ["内圆面/外圆面","内圆面/内圆面","外圆面/内圆面","外圆面/外圆面"]
光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
