范围说明书很重要，因为它为（）提供了依据。
影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。 ["等离子体蚀刻系统的形态","等离子体蚀刻的参数","光刻胶","待蚀刻薄膜的淀积参数条件"]
新制或大修后的接触网作业车单机紧急制动距离不大于（），制动距离误差不得超过10%。 ["300m","500m","400m"]
决议的行文主体一般是会议，政府机关不用，也没有“决议”这一文种。
干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。 ["离子、电子","中性原子","分子","自由基"]
开始和完成日期反映着（），这样的项目进度被称为（）。
