问题：
[填空题] 集成电路的制造分为五个阶段，分别为（）、（）、硅片测试和拣选、（）、终测。
问题：
[填空题] 制造电子器件的基本半导体材料是圆形单晶薄片，称为硅片或（）。在硅片制造厂，由硅片生产的半导体产品，又被称为（）或（）。
问题：
[填空题] 制作通孔的主要工艺步骤是：1、（）；2、（）；3、（）。
问题：
[填空题] 制作钨塞的主要工艺步骤是：1、（）；2、（）；3、（）；4、磨抛钨。
问题：
[判断题] 半导体级硅的纯度为99.9999999%。
正确。错误。
问题：
[判断题] 西门子工艺生产的硅没有按照希望的晶体顺序排列原子。
正确。错误。
问题：
[判断题] CZ直拉法是按照在20世纪90年代初期它的发明者的名字来命名的。
正确。错误。
问题：
[判断题] 区熔法是20世纪50年代发展起来的，能生产到目前为止最纯的硅单晶，含氧量非常少。
正确。错误。
问题：
[判断题] 85%以上的单晶硅是采用CZ直拉法生长出来的。
正确。错误。
